No/VOL: 07b/2012 Page no. 134
Authors: Daniele Desideri , Alvise Maschio , Dan Micu , Olivia Miron , Monica Spolaore :
Title: Ekwiwalentny model magnetronu napylającego z jarzmem magnetycznym
Abstract: W pracy przedstawiono analizę numeryczną dwóch magnetronów napylających oraz przedstawiono weryfikację doświadczalną wyników tej analizy. Wywnioskowano, że jarzmo ferromagnetyczne nie jest obecne w pierwszym urządzeniu, natomiast istnieje w drugim. Pokazano, że dodanie jarzma w pierwszym urządzeniu lub usunięcie w drugim ograniczyło wpływy układu magnetycznego na katodę. Ten sam wynik uzyskano w modelowym przypadku, w którym została przedstawiona analiza parametryczna urządzeń o różnych rozmiarach, z lub bez jarzma.
Key words: magnetronowe napylanie, konfiguracja magnetyczna, jarzmo magnetyczne.