Przegląd Elektrotechniczny
tttt/div>

Oldest magazine of Polish electrician. It appears since 1919.

strona w języku polskim english page



No/VOL: 08/2017 Page no. 106

Authors: Krystian Król , Mariusz Sochacki , Norbert Kwietniewski , Sylwia Gieraltowska , Łukasz Wachnicki :

Title: Zastosowanie dielektryków high-k w przyrządach mocy wytwarzanych w technologii węglika krzemu

Abstract: W artykule omówiono zalety zastosowania warstw dielektrycznych o wysokim współczynniku przenikalności elektrycznej osadzanych techniką ALD (ang. Atomic Layer Deposition) i praktyczne aspekty ich wykorzystania w przyrządach mocy typu MOSFET wytwarzanych w technologii węglika krzemu (SiC).

Key words: high-k, węglik krzemu, SiC, MOSFET, przyrządy mocy

wstecz