No/VOL: 08/2018 Page no. 21
Authors: Adam Szyszka , Regina Paszkiewicz , Tomasz Szymański , Marek Tłaczała :
Title: Zintegrowany układ oświetlenia próbki do mikroskopu ze skanującą sondą
Abstract: W artykule przedstawiono budowę oraz funkcjonalność układu oświetlenia próbki zintegrowanego z sytemem mikroskopu ze skanujacą sondą. Układ ten umożliwia pobudzenie próbki promieniowaniem optycznym w trakcie pomiaru lokalnych właściwości elektrycznych metodami skaningowej mikroskopi potencjału powierzchniowego, skaningowej mikroskopi rezystancji rozproszonej oraz skaningowej mikroskopii pojemnośćiowej. Ma to na celu uzyskanie dodatkowych informacji o niejednorodnościach właściwości powierzchniowych stanach pułapkowych czyli o ich typie, położeniu w przerwie zabronionej oraz o czasach generacji/rekombinacji. Pierwsze eksperymenty przeprowadzone na zmodyfikownycm stanowisku Bruker Multimode V w trybie skaningowej mikroskopi pojemnościowej pozwoliły zaobserwować istnienie wpływu konstrukcji heterostruktury AlGaN/GaN/Si na właściwości defektów występujących w warstwie bariery AlGaN.
Key words: mikroskop ze skanującą sondą, skaningowa mikroskopia pojemnościowa, skaningowa mikroskopia potencjału powierzchniowego, skaningowa mikroskopia rezystancji rozproszonej, AlGaN/GaN/Si