No/VOL: 01/2022 Page no. 135
Authors: Jarosław Wróbel , Sebastian Odrzywolski , Sebastian Złotnik , Jacek Boguski , Malwina Liszewska , Bogusław Budner , Bartłomiej Jankiewicz , Kacper Matuszelański :
Title: Badania jednorodności cienkich warstw InAs otrzymywanych metodą epitaksji z wiązek molekularnych
Abstract: Niniejsza praca porusza zagadnienie charakteryzacji warstw epitaksjalnych arsenku indu (InAs) pod kątem jednorodności przestrzennej. Badania przeprowadzone w pracy zostały oparte na trzech metodach charakteryzacji: wysokorozdzielczej mikroskopii optycznej, mikroskopii sił atomowych i spektroskopii Ramana. Obiektem badań były warstwy epitaksjalne InAs na podłożach arsenku galu (GaAs), które zostały wytworzone metodą epitaksji z wiązek molekularnych (MBE).
Key words: InAs, jednorodność, charakteryzacja cienkich warstw, MBE