No/VOL: 12/2022 Page no. 118
Authors: Dominik Grochala , Anna Paleczek , Jakub Bronicki , Konstanty Marszałek , Artur Rydosz :
Title: Wykorzystanie technologii GLAD do zastosowań w przenośnych analizatorach oddechu
Abstract: W pracy przedstawione zostały najważniejsze parametry technologii osadzania pod kątem GLAD (ang. Glancing Angle Deposition) z wykorzystaniem magnetronowego rozpylania jonowego w celu wytwarzania półprzewodnikowych, rezystancyjnych czujników gazów przeznaczonych do zastosowania w układach elektronicznego nosa (ang. e-nose) do analizy wydychanego powietrza.
Key words: technologia GLAD, czujniki gazów, analiza wydychanego powietrza