No/VOL: 05/2006 Page no. 68-71
Authors: Maria Dems , Krzysztof Komęza , Sławomir Wiak , Krzysztof Smółka :
Title: Modelowanie bryłowe trójwymiarowych struktur inteligentnych akcelerometrów o budowie grzebieniowej ze szczególnym uwzględnieniem problemów mechanicznych
Abstract: Artykuł dotyczy numerycznego modelowania trójwymiarowych struktur akcelerometrów MEMS. Przedstawiono założenia do budowy modelu mechanicznego dla różnych struktur akcelerometrów ze szczególnym uwzględnieniem ich sprężystości.
Key words: IMEMS – Inteligentne Mikro-Elektro-Mechaniczne-Systemy, akcelerometr, modelowanie polowe, modelowanie bryłowe