No/VOL: 04/2011 Page no. 249
Authors: Artur Rydosz , Wojciech Maziarz , Tadeusz Pisarkiewicz :
Title: Kształtowanie jednorodnego rozkładu temperatury w półprzewodnikowych rezystancyjnych sensorach gazów w technologii LTCC
Abstract: Do poprawnego działania warstwy gazoczułej w półprzewodnikowych rezystancyjnych sensorach gazów konieczne jest zapewnienie odpowiedniej temperatury pracy – zazwyczaj w przedziale 250–450ºC. Warstwa ta może wykazywać maksymalną odpowiedź na wybrane gazy dla różnych temperatur, stąd też konieczne staje się zapewnienie odpowiedniej temperatury i możliwie jednorodnego jej rozkładu. W pracy omówiono procesy wymiany ciepła, jakie należy uwzględnić przy projektowaniu podłoży sensorowych, przedstawiono wyniki symulacji i eksperymentu oraz wnioski.
Key words: czujniki gazu, rozkład temperatury, symulacje termiczne, technologia LTCC.