No/VOL: 02/2014 Page no. 36
Authors: Marcin Wesołowski , Ryszard Niedbała :
Title: Dwuwzbudnikowa nagrzewnica indukcyjna do krystalizacji metodą PVT – koncepcja i symulacja
Abstract: Wytwarzanie monokrystalicznych materiałów półprzewodnikowych jest techniką zaawansowaną, wymagającą spełnienia szeregu wymagań. Jakość monokryształów zależna jest przede wszystkim od warunków termicznych w strefie krystalizacji, zmiennych zarówno w funkcji współrzędnych przestrzennych jak i czasu. W artykule zaproponowano konstrukcję dwuwzbudnikowej nagrzewnicy indukcyjnej, umożliwiającej generację i kontrolę profili temperaturowych we wsadach, w szerokim zakresie. Omówiono konstrukcję modelu urządzenia oraz uzyskane charakterystyki eksploatacyjne. Wykonane prace badawcze, oprócz wykazania możliwości tej techniki grzewczej, stanowiły podstawę do prezentacji charakterystycznych cech oraz problemów przy modelowaniu urządzeń tej klasy.
Key words: monokrystalizacja, nagrzewanie indukcyjne, symulacja
DOI number: 10.12915/pe.2014.02.10