No/VOL: 12/2014 Page no. 233
Authors: Ewa Korzeniewska , Adam Jakubas :
Title: Pomiar rezystancji powierzchniowej warstw cienkich o dowolnych kształtach wytworzonych na podłożach elastycznych
Abstract: W artykule zaprezentowano metody pomiarów rezystancji powierzchniowej elektrod cienkowarstwowych wytworzonych na podłożach tekstylnych z wykorzystaniem technologii osadzania próżniowego PVD. Przeanalizowano adekwatność wykorzystania metod pomiaru w zależności od różnych kształtów elektrod.
Key words: rezystancja powierzchniowa, próżniowe nanoszenie cienkich warstw, elektrody pomiarowe, metoda Van der Pauwa.
DOI number: 10.12915/pe.2014.12.58