No/VOL: 10/2015 Page no. 233
Authors: Mariusz Martyniuk :
Title: Rozwój czujników MEMS z zintegrowanym systemem odczytu
Abstract: Mikroczujniki wykonane w technologii MEMS zdominowały światowe technologie dostarczając rozwiązań komercyjnych do pomiaru ciśnienia, bezwładności i temperatury. Pojawiły się również bardziej zaawansowane zastosowania w dziedzinie zobrazowania podczerwieni i kumulacji energii. Do dzisiaj jednak nie udało się zademonstrować komercyjnego czujnika chemiczno-biologicznego, chociaż raporty o wysokiej czułości mikro-belek umożliwiające rejestrację pojedynczej molekuły (zeptogramy, 10-21g) są już dostępne w literaturze. Głównym problemem ograniczającym rozwój tej technologii jest brak metod umożliwiających pomiar odkształcenia matryc mikro-belek z wysoką rozdzielczością. Artykuł prezentuje technologię otrzymania wymaganej rozdzielczości dla dużych matryc mikro-belek w technologii MEMS z wykorzystaniem metod optycznych. Jako przykład zastosowania przedstawiono rezultaty dla czujnika toluenu.
Key words: sensory biologiczne, układy mikroelektromechaniczne, optyczne układy mikroelektromechaniczne, nano-pozycjonowanie