No/VOL: 08/2016 Page no. 187
Authors: Vitaly Ksenevich , Dmitriy Adamchuk , Vladimir Odzhaev , Paweł Żukowski :
Title: Wytwarzanie i charakterystyki przezroczystych folii z dwutlenku cyny o zmiennym składzie stechiometrycznym
Abstract: Folie z dwutlenku cyny o zmiennym składzie stechiometrycznym zostały wytworzone za pomocą rozpylania magnetronowego przy użyciu prądu stałego oraz poddane dwuetapowemu wygrzewaniu. Właściwości strukturalne oraz elektryczne folii zostały zbadane przy użyciu spektroskopii ramanowskiej i spektroskopii impedancyjnej. Ustalono, że krystaliczność oraz rozmiary ziaren folii z dwutlenku cyny zwiększają się wraz ze wzrostem temperatury wygrzewania. Najbardziej przewodzące próbki zostały poddane wygrzewaniu w temperaturze 375°C w drugim etapie obróbki cieplnej. Wzrost impedancji folii wygrzanych w temperaturach wyższych jest związany ze zmniejszeniem koncentracji wakansów tlenu.
Key words: skład stechiometryczny, rozpylanie magnetronowe, właściwości elektryczne, spektroskopia impedancyjna.