No/VOL: 03/2017 Page no. 113
Authors: Alexandr Osadchuk , Vladimir Osadchuk , Iaroslav Osadchuk , Piotr Kisała , Tomasz Zyska , Kanat Mussabekov :
Title: Przetwornik pomiarowy ciśnienia z pojemnościową celą pomiarową MEMS
Abstract: W artykule przedstawiony został przetwornik ciśnienia z wyjściem częstotliwościowym oparty o strukturę podwójnego tranzystora unipolarnego z ujemną rezystancją. Celę pomiarową stanowił kondensator MEMS wrażliwy na siłę. Model matematyczny przetwornika ciśnienia uwzględnia stany dynamiczne i pozwala wyznaczyć napięcie i prąd w obwodzie w dowolnym momencie pracy przetwornika. Przedstawione zostały również zależności analityczne funkcji konwersji i czułości. Czułość przetwornika zawierała się w przedziale 0,98 kHz/kPa do 1,67 kHz/kPa.
Key words: przetwornik częstotliwość ciśnienie, kondensator MEMS, ujemna rezystancja.