No/VOL: 11/2007 Page no. 47-49
Authors: Michael Greiff , Uzzal Binit Bala , Wolfgang Mathis , Matthias Maischak , Ernst Stephan :
Title: Obliczenia numeryczne pól elektrycznych z uwzględnieniem osobliwości w mikroukładach elektro-mechanicznych, MEMS
Abstract: Obliczenia pól elektrycznych odgrywają ważną rolę w symulacjach systemów elektro-mechanicznych, MEMS. W wielu przypadkach istnieje potrzeba obliczenia pola elektrycznego blisko narożników obiektu. W artykule przedstawiono zastosowanie rozszerzonej metody elementów skończonych do obliczania sił elektrostatycznych w mikroskopie EFM.
Key words: mikroukłady elektro-mechaniczne, elektrostatyka, osobliwości, MES