No/VOL: 11/2007 Page no. 235-239
Authors: Jan Ziaja :
Title: Otrzymywanie cienkich warstw ZnO metodą impulsowego rozpylania magnetronowego
Abstract: W prezentowanej pracy przedstawiono otrzymywanie cienkich warstw ZnO metodą impulsowego rozpylania magnetronowego. Wykazano, że szybkości rozpylania targetów metalicznych w argonie jest większa dla metody DC-M. Natomiast rozpylanie reaktywne lub targetów tlenkowych należy stosować metodę AC-M. Uzyskane wartości szybkości osadzania warstw są porównywalne do wartości uzyskanymi innymi metodami np. RF, DC. Otrzymane warstwy Zn-Bi-O charakteryzowały się efektem warystorowym.
Key words: ZnO, rozpylanie magnetronowe, właściwości elektryczne, warystor