No/VOL: 05/2008 Page no. 345-348
Authors: Łukasz Oskwarek , Mariusz Płuska :
Title: Metoda określenia wpływu zewnętrznego pola magnetycznego na wiązkę elektronów oraz na obwody elektryczne w skaningowym mikroskopie elektronowym
Abstract: Deformacja obrazu struktury badanego obiektu spowodowana oddziaływaniem zewnętrznego pola zakłócającego jest jednym z najczęściej spotykanych niepożądanych efektów w skaningowej mikroskopii elektronowej. Tematyka artykułu odnosi się oceny wpływu pól elektromagnetycznych na wyniki obrazowania z równoczesnym określeniem sposobu separacji wpływu tegoż pola na bieg wiązki w kolumnie i komorze mikroskopu elektronowego oraz na obwody elektryczne mikroskopu.
Key words: skaningowy mikroskop elektronowy, zniekształcenia obrazu mikroskopowego, zakłócenia elektromagnetyczne