No/VOL: 07/2008 Page no. 70-72
Authors: Andrzej Frączyk , Andrzej Rzepka :
Title: Komputerowy system identyfikacji i regulacji temperatury pieca do dyfuzji półprzewodników
Abstract: Niniejszy artykuł przedstawia opis stanowiska badawczego wykorzystywanego do identyfikacji parametrów dynamicznych oraz do precyzyjnej regulacji temperatury wielosekcyjnego pieca oporowego do dyfuzji półprzewodników. Umożliwia ono identyfikację parametrów dynamicznych obiektu badań drogą testów wieloczęstotliwościowych wykorzystujących sygnały MBS oraz regulację temperatury za pomocą różnych wersji algorytmów typu PID oraz regulatora optymalnego w sensie minimalizacji kwadratowego wskaźnika jakości regulacji.
Key words: identyfikacja, regulacja temperatury, pomiary temperatury, procesy dyfuzji