No/VOL: 07/2010 Page no. 112
Authors: Jerzy Mizeraczyk , Mariusz Jasiński , Marcin Goch :
Title: Urządzenie mikrofalowe do generacji płaszczyzny plazmowej
Abstract: W niniejszym artykule prezentowane jest nowe urządzenie mikrofalowe pracujące na częstotliwości 2,45 GHz, które służy do wytwarzania płaszczyzny plazmowej. Unikalny kształt generowanej płaszczyzny plazmowej jest bardzo dogodny do obróbki powierzchni, a więc atrakcyjny dla zastosowań w przemyśle. Prezentowany mikrofalowy generator płaszczyzny plazmowej jest urządzeniem wytwarzającym plazmę nietermiczną w argonie pod ciśnieniem atmosferycznym.
Key words: płaszczyzna plazmowa, mikrofalowy generator płaszczyzny plazmowej, plazma nietermiczna, obróbka powierzchni.