No/VOL: 10/2010 Page no. 61
Authors: Elżbieta Czerwosz , Ewa Kowalska , Joanna Radomska , Halina Wronka :
Title: Badania zmian własności przewodnictwa elektrycznego warstw palladowo-węglowych pod wpływem gazów zawierających związki wodoru
Abstract: Nanostrukturalne/porowate warstwy węglowo-palladowe (C-Pd) wykazują właściwości świadczące o możliwości zastosowania ich w czujnikach wodoru i/lub związków wodoru. Warstwy C-Pd otrzymuje się w ITR metodą dwuetapową stosując proces fizycznego naparowania w próżni (PVD – I etap) a następnie modyfikując warstwę z I etapu w procesie chemicznego osadzania z par ksylenu (CVD - II etap). W pracy przedstawiamy wyniki badań zmian przewodnictwa elektrycznego nanostrukturalnych warstw C-Pd o różnej budowie (topografii i morfologii) zachodzące pod wpływem mieszanki gazowej zawierającej węglowodory CxHX o różnej koncentracji.
Key words: nanowarstwy węglowe, pallad, PVD, CVD, czujniki wodorowe.