No/VOL: 10/2011 Page no. 171
Authors: Zbigniew Suszyński , Mateusz Kosikowski :
Title: Termografia aktywna w trybie pobudzenia optycznego i konwekcyjnego
Abstract: Termografia aktywna jest stosowana w przemyśle elektronicznym do badania jakościowego i ilościowego właściwości cieplnych ciał stałych, a w szczególności struktur półprzewodnikowych wykonanych w technologii planarnej. Metody termografii aktywnej dzieli się ze względu na rodzaj źródła energii pobudzenia, charakter modulacji, a także techniki detekcji sygnału temperaturowego. W artykule omówiono możliwości zastosowania strumienia gazu i promieniowania optycznego w trybie modulacji przestrzennej do pobudzenia energetycznego obiektów badanych metodami termografii aktywnej. Porównano efektywność obu metod i ich możliwości aplikacyjne w odniesieniu do materiałów o różnej przewodności cieplnej.
Key words: pobudzenie energetyczne, konwekcja wymuszona, mikroskopia termofalowa, modulacja przestrzenna, model termiczny.