No/VOL: 10b/2012 Page no. 64
Authors: Grzegorz Małozięć , Konrad Nieradka , Daniel Kopiec , Yvonne Ritz , Ehrenfried Zschech , Teodor Gotszalk :
Title: Układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych mikroprzetworników wysokoczęstotliwościowych
Abstract: W niniejszym artykule opisany został układ do pomiaru charakterystyk rezonansowych dźwigni krzemowych. Omówiona została metoda uzyskiwania mikrodźwigni sprężystych. Opisana została budowa specjalizowanego układu optycznego do detekcji ugięcia mikrobelek oraz zasada detekcji ugięcia Przedstawiona została również nowa metoda pomiarowa, polegająca na wykorzystaniu modulowanej wiązki światła do pomiaru parametrów przetworników o wysokich częstotliwościach rezonansowych.
Key words: mikrodźwignia, mieszacz częstotliwości, modulacja, laser.