No/VOL: 01b/2013 Page no. 134
Authors: Juan Su , Kai-Xuan He , Deng-Zhu Guo , Ying-Jie Xing , Geng-Min Zhang :
Title: Czujnik próżniowy o szerokim zakresie pomiarów, oparty o przetarte błony z nanorurek węglowych
Abstract: Zaproponowano miniaturowy czujnik próżniowy z szerokim zakresem pomiaru, od 5x10-6 do 1x105Pa, wykorzystujący, jako materiału czułego, błony z nanorurek węglowych (CNT). Błony przetarte są mechanicznie na podłożach ze szkła kwarcowego, na końcach których napylono dwie elektrody. Stwierdzono, że oporność CNT silnie zależy od ciśnienia próżni. Za mechanizm wrażliwości odpowiada adsorpcja cząsteczek wody, co wpływa na przepływ elektronów w CNT i powoduje wzrost oporności złącza CNT.
Key words: Błony z nanorurek węglowych, Ciśnienie próżni, Adsorbcja wody