No/VOL: 01/2007 Page no. 86-90
Authors: Roman Janiczek , Paweł Ptak :
Title: Przetworniki indukcyjnościowe w pomiarach grubości warstw wierzchnich
Abstract: W pracy przedstawiono zagadnienia, dotyczące pomiaru grubości warstw wierzchnich, przeprowadzane z wykorzystaniem przetworników indukcyjnościowych. Opisano badania, dotyczące przetwornika indukcyjnościowego transformatorowego. Uwzględniono wstępne rozważania teoretyczne, a na ich podstawie wykonano prototypowe przetworniki pomiarowe, dla których przeprowadzono badania ich przydatności w pomiarach wybranych warstw wierzchnich.
Key words: pomiary grubości warstw wierzchnich, przetworniki indukcyjnościowe