No/VOL: 08/2016 Page no. 21
Authors: Piotr Kunicki , Zbigniew Kowalski , Teodor Gotszalk :
Title: Technologia FIB/SEM w produkcji i badaniach NEMS/MEMS
Abstract: Mikroskop FEI Helios600i wraz z mikromanipulatorami Kleindiek MM3A-EM oraz urządzenie Keithley 2400 zostały użyte w naszych eksperymentach. Z powodu ograniczonego miejsca przedstawiono jedynie kilka przykładów procesów z wykorzystaniem technologii FIB/SEM. Największą zaletą tej technologii jest możliwość modyfikacji pojedynczej struktury w krótkim czasie.
Key words: Zogniskowana Wiązka Jonów, Skaningowy Mikroskop Elektronowy, Mikro Elektro-Mechaniczny System, Nano Elektro- Mechaniczny System.