No/VOL: 11/2014 Page no. 108
Authors: Anna Górecka-Drzazga :
Title: Miniaturowe źródła promieniowania rentgenowskiego
Abstract: W artykule przedstawiono przegląd literaturowy na temat konstrukcji i technologii różnego typu miniaturowych lamp rentgenowskich. Opisano przykłady źródeł rentgenowskich wykorzystujących efekt piroelektryczny oraz źródeł z termiczną i polową wyrzutnią elektronów. Artykuł zakończono prezentacją koncepcji zintegrowanej lampy rentgenowskiej on-chip, wytworzonej metodami mikroinżynierii. W konstrukcji wykorzystano miniaturowe polowe źródło elektronów z katodą z nanorurek węglowych oraz ostatnio opracowaną mikropompę wysokiej próżni.
Key words: miniaturowa lampa X, MEMS, emisja polowa, mikroinżynieria.
DOI number: 10.12915/pe.2014.11.30