No/VOL: 11/2014 Page no. 142
Authors: Michał Zaborowski , Dariusz Szmigiel , Piotr Grabiec :
Title: Rozwój technologii REFETów z przeznaczeniem do pomiaru pH
Abstract: W pracy przedstawiono dotychczasowy rozwój technologii REFETów. Opisano wytwarzanie REFETa metodą utleniania plazmowego warstwy azotkowej. Zaprezentowano układ pomiarowy wtórnika źródłowego i obudowy przepływowe. Podano wyniki kwalifikacji kwazi-REFETów i różnicowych pomiarów pH. Zaproponowano zastosowanie przyrządu wraz z pseudoreferencyjną elektrodą Pt do pomiarów w rozcieńczonym HCl.
Key words: REFET, ISFET, elektroda referencyjna.
DOI number: 10.12915/pe.2014.11.39