No/VOL: 12/2014 Page no. 288
Authors: Bogusław Wisz :
Title: Matematyczny trójwymiarowy model pojemności pasożytniczych w strukturach ścieżek przewodzących mikroelektronicznych układów warstwowych
Abstract: W artykule przedstawiono rezultaty obliczeń pojemności w systemie ścieżek przewodzących o wybranej konfiguracji, usytuowanych w mikroukładzie grubowarstwowym .Pojemność między dwoma ścieżkami wyznaczono w oparciu o rozwiązanie trójwymiarowego zagadnienia brzegowego stosując metodę przekształceń całkowych Fouriera. Otrzymany układ równań z nieznanymi gęstościami ładunków rozwiązano numerycznie metodą kolokacji, a wartość pojemności obliczono z jej definicyjnej zależności. Zaproponowano ponadto modyfikację metody numerycznej, umożliwiającej wielokrotne skrócenie czasu obliczeń.
Key words: mikroukład hybrydowy, pojemności pasożytnicze, całki Fouriera, metoda kolokacji
DOI number: 10.12915/pe.2014.12.73