Numer: 08/2017 Str. 50
Autorzy: Anna Szerling , Kamil Kosiel , Michał Szymański , Piotr Prokaryn , Mariusz Płuska , Artur Trajnerowicz , Maciej Sakowicz , Piotr Karbownik , Zbig Wasilewski , Krystyna Gołaszewska , Maciej Kozubal , Renata Kruszka :
Tytuł: Technologia wytwarzania terahercowych laserów kaskadowych
Streszczenie: W artykule przedstawiono technologię wytwarzania terahercowych laserów kaskadowych z warstwami metalicznymi pełniącymi rolę płaszczy falowodów. Obszar aktywny tych laserów składa się z 228 powtórzeń modułu zbudowanego ze sprzężonych studni potencjału Al0,15Ga0,85As/GaAs. W pracy przedstawiono pełny cykl technologiczny wytwarzania lasera terahercowego, obejmujący osadzanie warstw metalicznych, łączenie obszarów aktywnych laserów z podłożem zastępczym, usuwanie podłoża i warstwy stopującej (warstwy AlAs zatrzymującej trawienie podłoża GaAs, pełniącej funkcję technologiczną podczas usuwania podłoża) i następnie formowanie falowodu grzbietowego. Według tego schematu technologicznego wykonano trzy serie laserów, w których zastosowano różne płaszcze metaliczne (5 nm Ti/ 300 nm Au; 5 nm Ti/ 300 nm Cu; 5 nm Ti/ 300 nm Ag). Uzyskane lasery charakteryzowały się gęstościami prądu progowego na poziomie Jth ~ 1,2 kA/cm2 oraz maksymalną temperaturą pracy Tmax=140 K.
Słowa kluczowe: promieniowanie terahercowe, lasery kaskadowe, technologia wytwarzania przyrządów półprzewodnikowych