Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page

Numer: 08/2017 Str. 106

Autorzy: Krystian Król , Mariusz Sochacki , Norbert Kwietniewski , Sylwia Gieraltowska , Łukasz Wachnicki :

Tytuł: Zastosowanie dielektryków high-k w przyrządach mocy wytwarzanych w technologii węglika krzemu

Streszczenie: W artykule omówiono zalety zastosowania warstw dielektrycznych o wysokim współczynniku przenikalności elektrycznej osadzanych techniką ALD (ang. Atomic Layer Deposition) i praktyczne aspekty ich wykorzystania w przyrządach mocy typu MOSFET wytwarzanych w technologii węglika krzemu (SiC).

Słowa kluczowe: high-k, węglik krzemu, SiC, MOSFET, przyrządy mocy

wstecz