Numer: 06/2018 Str. 78
Autorzy: Iryna Klimovich , Fadei Komarov , Valery Zaikov , Marek Opielak , Tomasz Koltunowicz :
Tytuł: Właściwości optyczne warstw Ti-Al-C-N: wpływ parametrów osadzania i zawartości węgla
Streszczenie: Warstwy Ti-Al-C-N uzyskano za pomocą metody reaktywnego napylania magnetronowego dla różnych parametrów osadzania (temperatura podłoża, napięcie odchylenia i zależność między ciśnieniem cząstkowym reaktywnych gazów). Struktura, faza oraz skład chemiczny warstw zostały określone za pośrednictwem skaningowej mikroskopii elektronowej, analizy rentgenowskiej dyspersji energii, dyfraktometrii rentgenowskiej i rozproszenia Ramana. Odkryto, że parametry napylania mają wpływ na kompozycję i charakterystyki optyczne powłok Ti-Al-C-N. Minimalna absorpcja i maksymalny współczynnik odbicia uzyskane zostały dla warstw Ti-Al-C-N o zawartości węgla wynoszącej 36.44%.
Słowa kluczowe: Warstwy Ti-Al-C-N, reaktywne rozpylanie magnetronowe, dyfrakcja promieniowa, spektroskopia ramanowska, współczynnik odbicia, przepuszczalność, absorpcja.