Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page

Numer: 08/2018 Str. 21

Autorzy: Adam Szyszka , Regina Paszkiewicz , Tomasz Szymański , Marek Tłaczała :

Tytuł: Zintegrowany układ oświetlenia próbki do mikroskopu ze skanującą sondą

Streszczenie: W artykule przedstawiono budowę oraz funkcjonalność układu oświetlenia próbki zintegrowanego z sytemem mikroskopu ze skanujacą sondą. Układ ten umożliwia pobudzenie próbki promieniowaniem optycznym w trakcie pomiaru lokalnych właściwości elektrycznych metodami skaningowej mikroskopi potencjału powierzchniowego, skaningowej mikroskopi rezystancji rozproszonej oraz skaningowej mikroskopii pojemnośćiowej. Ma to na celu uzyskanie dodatkowych informacji o niejednorodnościach właściwości powierzchniowych stanach pułapkowych czyli o ich typie, położeniu w przerwie zabronionej oraz o czasach generacji/rekombinacji. Pierwsze eksperymenty przeprowadzone na zmodyfikownycm stanowisku Bruker Multimode V w trybie skaningowej mikroskopi pojemnościowej pozwoliły zaobserwować istnienie wpływu konstrukcji heterostruktury AlGaN/GaN/Si na właściwości defektów występujących w warstwie bariery AlGaN.

Słowa kluczowe: mikroskop ze skanującą sondą, skaningowa mikroskopia pojemnościowa, skaningowa mikroskopia potencjału powierzchniowego, skaningowa mikroskopia rezystancji rozproszonej, AlGaN/GaN/Si

wstecz