Numer: 09/2019 Str. 111
Autorzy: Agata Obstarczyk , Danuta Kaczmarek , Michał Mazur , Jarosław Domaradzki , Damian Wojcieszak :
Tytuł: Wpływ struktury na właściwości elektryczne i optyczne cienkich warstw na bazie tlenków Ti i Hf
Streszczenie: Celem niniejszej pracy było wytworzenie nanokrystalicznych oraz amorficznych cienkich warstw na bazie mieszaniny tlenków Ti i Hf metodą rozpylania magnetronowego. W ramach pracy przeprowadzono również szczegółową analizę wpływu struktury wybranych warstw na ich właściwości elektryczne takie jak gęstość prądu upływu oraz względna przenikalność elektryczna, a także właściwości optyczne w tym współczynnik ekstynkcji światła.
Słowa kluczowe: cienka warstwa, rozpylanie magnetronowe, struktura nanokrystaliczna, faza amorficzna.