Numer: 09/2019 Str. 154
Autorzy: Tymoteusz Ciuk , Wawrzyniec Kaszub , Kinga Kościewicz , Dariusz Czołak , Artur Dobrowolski , Jakub Jagiełło , Adrianna Chamryga , Rafał Budzich , Beata Stańczyk , Krystyna Przyborowska , Anna Harmasz , Krzysztof Góra , Andrzej Kozłowski , Paweł Michałowski , Paweł Ciepielewski , Iwona Jóźwik , Dominika Teklińska , Emil Tymicki , Roman Kozłowski , Michał Kozubal , Paweł Kamiński :
Tytuł: Homoepitaksja węglika krzemu dla przyrządów mocy w Sieci Badawczej Łukasiewicz - ITME
Streszczenie: Sieć Badawcza Łukasiewicz – ITME posiada wieloletnie doświadczenie w homoepitaksji warstw węglika krzemu na przewodzących podłożach 4H-SiC o średnicy do 3 cali. Technologia wzrostu obejmuje warstwy nieintencjonalnie domieszkowane, warstwy typu „n” oraz warstwy typu „p”. Koncentracja powierzchniowa defektów wynosi ~7000 cm-2 dla przypadku podłoża odchylonego o 4° od płaszczyzny (0001) w kierunku [11- 20]. Nowoczesne wyposażenie laboratoryjne pozwala na kompleksową charakteryzację w oparciu o techniki AFM, SEM, SIMS, DLTS, spektroskopię Ramana oraz pomiar charakterystyk I-V i C-V.
Słowa kluczowe: węglik krzemu, homoepitaksja, przyrządy mocy