Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 10/2019 Str. 146

Autorzy: Wojciech Macherzyński , Piotr Buba , Piotr Pokryszka , Grzegorz Ilgiewicz , Regina Paszkiewicz :

Tytuł: Pogrubiania elektrochemiczne złotem cienkich warstw metalicznych

Streszczenie: W artykule omówiono projekt układu zasilania w stanowisku do pogrubiania elektrochemicznego złotem cienkich warstw metalicznych. Pogrubianie cienkich warstw metalicznych w technologii półprzewodnikowej jest ważnym etapem w procesie wytwarzania przyrządów półprzewodnikowych. Umożliwia ono wykonanie poprawnych połączeń drutowych w procesie termo- i/lub ultra-kompresji oraz zapewnia zmniejszenie rezystancji powierzchniowej, która jest istotna w celu zapewnienia poprawnej pracy przyrządów wytwarzanych w AIIIN.

Słowa kluczowe: pogrubianie elektrochemiczne, przyrządy półprzewodnikowe, złącza omowe, złącza prostujące.

wstecz