Numer: 01/2021 Str. 30
Autorzy: Hocine Tebani , Djilali Benyoucef :
Tytuł: Model indukcyjnie sprzężonego wyładowania rf w mieszaninie ASr/H2
Streszczenie: artykule przedstawiono symulację właściwości rf plazmy sprzężonej indukcyjnie (ICP) w mieszaninie Ar / H2 pod niskim ciśnieniem, w cylindrycznej komorze ze stali nierdzewnej. Model globalny zastosowany w tym badaniu i wdrożony w oprogramowaniu COMSOL Multiphysics jest opracowany w ramach czterech głównych komponentów: Model płynu dla form plazmy jest powiązany z równaniami elektromagnetycznymi służącymi do obliczania pola elektrycznego z wykorzystaniem potencjału wektora magnetycznego. Ponadto, ponieważ plazma jest słabo zjonizowana, należy wziąć pod uwagę właściwości obojętnych form gazu, stosując równanie Naviera-Stokesa do opisu przepływu gazu oraz równanie przenoszenia ciepła, aby obliczyć nagrzewanie gazu w wyniku zderzeń sprężystych między elektronami. W tej pracy model został po raz pierwszy zastosowany w celu zrozumienia procesów fizycznych i chemicznych zachodzących w plazmie ArH2..
Słowa kluczowe: plazma sprzężona indukcyjnie, wodór, argon, temperatura gazu, śledzenie gazu, potencjał magnetyczny, model płynu