Numer: 01/2022 Str. 169
Autorzy: Janusz Woźny , Andrzej Kubiak :
Tytuł: Badanie własności grubowarstwowego kontaktu srebro-węglik krzemu modyfikowanego wiązką laserową
Streszczenie: W pracy zaprezentowana jest metoda uzyskiwania kontaktów omowych do węglika krzemu z wykorzystaniem srebrowego kleju przewodzącego oraz lasera modyfikującego obszar kontaktu. Metoda nie wymaga przeprowadzania procesu wygrzewania całej struktury. Może ona znaleźć zastosowanie w pracach laboratoryjnych nad SiC wymagających szybkiego wytworzenia kontaktów omowych do struktur z SiC.
Słowa kluczowe: SiC, kontakt omowy, laser