Numer: 02/2022 Str. 98
Autorzy: Mateusz Zapart , Cezary Worek :
Tytuł: Projekt i symulacje zasilacza średniej mocy i średniej częstotliwości przeznaczonego do procesów plazmowych i rozpylania magnetronowego
Streszczenie: W artykule przedstawiono, przetwornicę z obwodem rezonansowym 4 rzędu typu LCLC, pracującą na częstotliwościach około 100 kHz przeznaczoną do zasilana magnetronu. Ta nietypowa topologia charakteryzuje się wyjściem o charakterze źródła prądowego z możliwością osiągnięcia wysokiego napięcia bez obciążenia, co jest zaletą w przypadku zasilania procesów plazmowych. Wiąże się również z mniejszymi wymaganiami dotyczącymi szybkości kontrolera, co pozwala na realizację cyfrowych pętli sprzężenia z wykorzystaniem mikrokontrolerów DSC.
Słowa kluczowe: przetwornica rezonansowa LCLC, klasa DE, symulator NGSPICE, rozpylanie magnetronowe.