Numer: 03/2008 Str. 196-199
Autorzy: Fadiej Komarow , Mirosław Kulik , Jerzy Zuk , Witold Rzodkiewicz :
Tytuł: Badanie wpływu dawki implantowanego indu na funkcję dielektryczną w implantowanych warstwach GaAs metodą elipsometrii spektralnej
Streszczenie: Zaprezentowano rezultaty badania wpływu dawki implantowanego indu na funkcję dielektryczną w implantowanych warstwach GaAs. Badania przeprowadzono metodą elipsometrii spektralnej.
Słowa kluczowe: implantacja jonowa,elipsometria spektralna, współczynniki załamania i ekstynkcji, GaAs