Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page

Numer: 09/2009 Str. 279-286

Autorzy: Michał Szermer , Andrzej Napieralski , Krzysztof Szaniawski , Michał Olszacki , Cezary Maj :

Tytuł: Aktuatory i sensory w technologii MEMS jako mikroelektromaszynowe elementy mechatroniki

Streszczenie: W artykule przedstawiono wybrane projekty mikromaszyn i mikrosystemów krzemowych zaprojektowanych w DMCS i wykonanych w technologiach MEMS. Należą do nich: mikrosilnik, mikropompa i mikrozwierciadło krzemowe, czujniki promieniowania podczerwonego, przetworniki elektrotermiczne, czujniki przepływu gazu, czujniki przyśpieszenia, punktowe źródła światła, tranzystory ISFET i CHEMFET a także różne warianty mikromaszynowych czujników przyśpieszenia oraz pomiaru ciśnienia wewnątrzczaszkowego.

Słowa kluczowe: Mikromaszyny i mikrosystemy krzemowe, mikroelektronika, czujniki ISFET i CHEMFET

wstecz