Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 07/2010 Str. 32

Autorzy: Roland Wiśniewski , Krzysztof Wieteska , Teresa Wilczyńska :

Tytuł: Metoda określania właściwości rezystancyjnych planarnych układów przewodzących implantowanych jonami o zasięgu porównywalnym z grubością układu

Streszczenie: W pracy przestawiono metodę określania właściwości rezystancyjnych warstw implantowanych tworzących wraz z próbką układy planarne. Zastosowano metodę analizy właściwości układu zastępczego wirtualnie oddzielonej warstwy implantowanej i reszty materiału próbki. Analizie podlegają zmiany samej rezystywności obszaru zaimplantowanego jak również jej zależności temperaturowe, ciśnieniowe i inne. Grubości warstw implantowanych muszą być znane i porównywalne z grubością badanej próbki.

Słowa kluczowe: implantacja, rezystywność, właściwości rezystancyjne.

wstecz