Numer: 07/2010 Str. 221
Autorzy: Andrzej Kociubiński , Mariusz Duk , Tomasz Bieniek , Grzegorz Janczyk :
Tytuł: Zaawansowane modelowanie warstw diamentowych CVD w zastosowaniach MEMS/MOEMS
Streszczenie: W artykule przedstawiono i omówiono zastosowanie warstw diamentowych osadzanych metodą CVD w systemach typu MEMS i MOEMS. Porównano fizyczne właściwości warstw diamentowych z właściwościami krzemu. Jako przykład przedstawiono założenia i wyniki symulacji typowej struktury mikromechanicznej wytworzonej z warstwy diamentowej i warstwy krzemowej. Wszystkie symulacje zostały wykonane dedykowanym oprogramowaniem do symulacji systemów typu MEMS - CoventorWare ™.
Słowa kluczowe: diament, mikrosystemy, symulacje, technologia diamentowa.