Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 07/2010 Str. 221

Autorzy: Andrzej Kociubiński , Mariusz Duk , Tomasz Bieniek , Grzegorz Janczyk :

Tytuł: Zaawansowane modelowanie warstw diamentowych CVD w zastosowaniach MEMS/MOEMS

Streszczenie: W artykule przedstawiono i omówiono zastosowanie warstw diamentowych osadzanych metodą CVD w systemach typu MEMS i MOEMS. Porównano fizyczne właściwości warstw diamentowych z właściwościami krzemu. Jako przykład przedstawiono założenia i wyniki symulacji typowej struktury mikromechanicznej wytworzonej z warstwy diamentowej i warstwy krzemowej. Wszystkie symulacje zostały wykonane dedykowanym oprogramowaniem do symulacji systemów typu MEMS - CoventorWare ™.

Słowa kluczowe: diament, mikrosystemy, symulacje, technologia diamentowa.

wstecz