Numer: 07/2010 Str. 272
Autorzy: Paweł Zukowski , V.G. Lugin , Ivan Zarskij :
Tytuł: Wytwarzanie i właściwości fizyko-chemiczne cienkich półprzewodnikowych warstw tlenku indu do czujników gazów
Streszczenie: Opracowano technologię wytwarzania czujników gazów na podstawie cienkich warstw półprzewodnikowych InO wytwarzanych magnetronowym rozpylaniem indu i jego utlenianiem termicznym. Metodami dyfrakcji elektronów SEM, AES, ESCA zbadano strukturę składu i morfologię powierzchni. Określono warunki wytwarzania warstw o wysokiej czułości i selektywności w stosunku do gazów NO2 oraz NH3.
Słowa kluczowe: cienkie warstwy, tlenek indu, rozpylanie magnetronowe, czujniki gazu.