Numer: 10/2011 Str. 171
Autorzy: Zbigniew Suszyński , Mateusz Kosikowski :
Tytuł: Termografia aktywna w trybie pobudzenia optycznego i konwekcyjnego
Streszczenie: Termografia aktywna jest stosowana w przemyśle elektronicznym do badania jakościowego i ilościowego właściwości cieplnych ciał stałych, a w szczególności struktur półprzewodnikowych wykonanych w technologii planarnej. Metody termografii aktywnej dzieli się ze względu na rodzaj źródła energii pobudzenia, charakter modulacji, a także techniki detekcji sygnału temperaturowego. W artykule omówiono możliwości zastosowania strumienia gazu i promieniowania optycznego w trybie modulacji przestrzennej do pobudzenia energetycznego obiektów badanych metodami termografii aktywnej. Porównano efektywność obu metod i ich możliwości aplikacyjne w odniesieniu do materiałów o różnej przewodności cieplnej.
Słowa kluczowe: pobudzenie energetyczne, konwekcja wymuszona, mikroskopia termofalowa, modulacja przestrzenna, model termiczny.