Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 10b/2012 Str. 11

Autorzy: Renata Sulima :

Tytuł: Wpływ kształtu struktury MEMS na jej parametry

Streszczenie: Artykuł przedstawia porównanie układów elektrostatycznych grzebieniowych o ruchu liniowym i kątowym. W przypadku ruchu liniowego rozpatrywano przypadki zębów prostokątnych i zębów zaokrąglonych. Przeprowadzono analizę polową z wykorzystaniem modelu 2D i 3D wymienionych konstrukcji grzebieniowych. Obliczenia i porównanie wyników wykazują nieznaczny wpływ zmiany kształtu mikrostruktury na parametry układu.

Słowa kluczowe: MEMS, napędy grzebieniowe, przełączniki optyczne.

wstecz