Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 10b/2012 Str. 117

Autorzy: Jacek Gołębiowski , Bartłomiej Guzowski , Szymon Milcarz :

Tytuł: Zastosowanie światłowodowych czujników odbiciowych do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS

Streszczenie: Pokazano konstrukcję natężeniowego światłowodowego czujnika odbiciowego do pomiaru przemieszczeń w ruchomych strukturach MEMS. Przedstawiono system pomiarowy oraz wyniki pomiarów. Analizowano wpływ konstrukcji i parametrów czujnika oraz układu pomiarowego na charakterystyki wyjściowe ze szczególnym uwzględnieniem zmian współczynnika odbicia.

Słowa kluczowe: czujniki światłowodowe odbiciowe, pomiar przemieszczeń, układy optoelektroniczne, MEMS

wstecz