Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 03b/2013 Str. 288

Autorzy: Zivile Rutkuniene , Alfonsas Grigonis , Lina Vigricaite :

Tytuł: Wpływ metalowych zanieczyszczeń do filmów a-C:H

Streszczenie: Analizowano powłokę węglową na podłożu krzemowym poprzez chemiczne rozpuszczanie domieszek platyny i miedzi. Stwierdzono że współczynnik odbicia warstw był podobny dla wszystkich warstw i wynosił 1,6 do 1,75 niezależnie od domieszek. Spektralna analiza Ramanowska wykazała dominujące i zmniejszała się do ok 1553 cm-1 przy wprowadzaniu domieszek

Słowa kluczowe: amorphous carbon films, metal impurities, Raman spectroscopy, ellipsometry, IR spectroscopy.

wstecz