Numer: 03b/2013 Str. 288
Autorzy: Zivile Rutkuniene , Alfonsas Grigonis , Lina Vigricaite :
Tytuł: Wpływ metalowych zanieczyszczeń do filmów a-C:H
Streszczenie: Analizowano powłokę węglową na podłożu krzemowym poprzez chemiczne rozpuszczanie domieszek platyny i miedzi. Stwierdzono że współczynnik odbicia warstw był podobny dla wszystkich warstw i wynosił 1,6 do 1,75 niezależnie od domieszek. Spektralna analiza Ramanowska wykazała dominujące i zmniejszała się do ok 1553 cm-1 przy wprowadzaniu domieszek
Słowa kluczowe: amorphous carbon films, metal impurities, Raman spectroscopy, ellipsometry, IR spectroscopy.