Numer: 07/2013 Str. 307
Autorzy: Katarzyna Tadaszak :
Tytuł: Nanokompozyty osadzane metodą rozpylania magnetronowego i ich zastosowania
Streszczenie: Cienkie warstwy nanokompozytów ze względu na ciekawe właściwości znajdują coraz szersze zastosowanie w różnych gałęziach przemysłu, od elektroniki, przez mechanikę po fotowoltaikę. W pracy zostały przedstawione możliwości wykorzystania reaktywnego rozpylania magnetronowego do nanoszenia warstw kompozytów o rozmiarach charakterystycznych 10 – 300 nm. Omówione zostały właściwości mieszanin tlenków i azotków z metalami (Al, Ti) i wstępnie scharakteryzowane pod kątem możliwych zastosowań.
Słowa kluczowe: reaktywne rozpylanie magnetronowe, nanokompozyty, cienkie warstwy.