Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 11/2014 Str. 116

Autorzy: Michał Krysztof , Tomasz Grzebyk , Anna Górecka-Drzazga , Jan Dziuban :

Tytuł: Miniaturowy mikroskop elektronowy – koncepcje i możliwości technologiczne

Streszczenie: W artykule przeanalizowano różne próby miniaturyzacji mikroskopów elektronowych lub ich elementów opublikowane w literaturze. Przedstawiono nową koncepcję miniaturyzacji mikroskopu transmisyjnego wytworzonego całkowicie metodami mikroinżynierii krzemu i szkła z wykorzystaniem nowoopracowanej mikropompy wysokiej próżni. Opisano problemy technologiczne, które muszą być rozwiązane, aby mógł powstać mikrosystemowy mikroskop elektronowy.

Słowa kluczowe: miniaturyzacja, mikroskopia elektronowa, mikropompa, MEMS.

Numer DOI: 10.12915/pe.2014.11.32

wstecz