Numer: 11/2014 Str. 116
Autorzy: Michał Krysztof , Tomasz Grzebyk , Anna Górecka-Drzazga , Jan Dziuban :
Tytuł: Miniaturowy mikroskop elektronowy – koncepcje i możliwości technologiczne
Streszczenie: W artykule przeanalizowano różne próby miniaturyzacji mikroskopów elektronowych lub ich elementów opublikowane w literaturze. Przedstawiono nową koncepcję miniaturyzacji mikroskopu transmisyjnego wytworzonego całkowicie metodami mikroinżynierii krzemu i szkła z wykorzystaniem nowoopracowanej mikropompy wysokiej próżni. Opisano problemy technologiczne, które muszą być rozwiązane, aby mógł powstać mikrosystemowy mikroskop elektronowy.
Słowa kluczowe: miniaturyzacja, mikroskopia elektronowa, mikropompa, MEMS.
Numer DOI: 10.12915/pe.2014.11.32