Przegląd Elektrotechniczny

Najstarsze czasopismo elektryków polskich. Ukazuje się od 1919 roku.

strona w języku polskim english page



Numer: 11/2014 Str. 127

Autorzy: Katarzyna Sareło , Anna Górecka-Drzazga , Jan Dziuban :

Tytuł: Metoda detekcji optycznej przeznaczona dla membranowych krzemowych czujników ciśnienia typu MEMS

Streszczenie: W pracy przedstawiono nową metodę optycznej detekcji opracowaną dla czujników ciśnienia typu MEMS. Wykonany technikami mikroinżynieryjnymi mikrosystem może być zastosowany do pomiaru ciśnienia w warunkach silnego pola elektromagnetycznego, wysokiej temperatury i silnego promieniowania jonizującego. Wstępne testy czujnika ciśnienia zintegrowanego z elementami systemu optycznej detekcji dały pozytywne wyniki.

Słowa kluczowe: detekcja optyczna, czujnik ciśnienia, MEMS.

Numer DOI: 10.12915/pe.2014.11.35

wstecz